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    離子束濺鍍法沉積氧化銦錫透明導電膜之特性研究
    • 電子工程系 /105/ 碩士
    • 研究生: 黃堂益 指導教授: 趙良君 林保宏
    • 摘要   本實驗使用反應式離子束濺鍍法來沉積氧化銦錫薄膜於玻璃基板上,在室溫狀態下,分別透過改變氧氣流量、陽極電壓以及基板與靶材距離,來觀察不同製程參數下薄膜特性的變化。隨著氧氣流量增加,氧氣的低濺…
    • 點閱:326下載:0
    • 全文公開日期 2022/03/29 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)

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    轉印氧化銦錫薄膜於有機電子材料之研究
    • 化學工程系 /104/ 碩士
    • 研究生: 楊曉韻 指導教授: 戴 龑
    • 本研究利用射頻電漿濺鍍沉積氧化銦錫(ITO)薄膜於水溶性高分子polystyrene sulfonate (PSS)上,以翻膜轉印之技術將ITO薄膜轉移至有機高分子材料表面,作為有機光電元件之透明電…
    • 點閱:283下載:2
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